五、半导体
综合能力考核表详细内容
五、半导体
五、半导体篇 ——我国半导体产业的现状和发展前景 电子信息产业已成为当今全球规模最大、发展最迅猛的产业,微电子技术是其中的核 心技术之一(另一个是软件技术)。现代电子信息技术,尤其是计算机和通讯技术发展 的驱动力,来自于半导体元器件的技术突破,每一代更高性能的集成电路的问世,都会 驱动各个信息技术向前跃进,其战略地位与近代工业化时代钢铁工业的地位不相上下。 当前,世界半导体产业仍由美国占据绝对优势地位,日本欧洲紧随其后,韩国和我国 台湾地区也在迅速发展。台湾地区半导体工业已成为世界最大的集成电路代工中心,逐 步形成自己的产业体系。 我国的微电子科技和产业起步在50年代,仅比美国晚几年。计划经济时期,由于体制 的缺陷和其间10年“文革”,拉大了和国际水平的差距。进入80年代,我国面对国内外微 电子技术的巨大反差和国外对我技术封锁,我们没有能够在体制和政策上及时拿出有效 应对措施。国有企业无法适应电子技术的快节奏进步,国家协调组织能力下降,科研体 制改革缓慢,以致1980~1990年代我国自主发展半导体产业的努力未获显著效果。 “市场‘开放’后,集成电路商品从合法、不合法渠道源源涌入,集成电路所服务的终端产 品,以整机或部件散装的形式,也大量流入,但人家确实考虑到微电子的战略核心性质 ,死死卡住生产集成电路的先进设备,不让进口,在迫使我们落后一截,缺乏竞争力的 同时,又时刻瞄准我们科研与生产升级的潜力,把我们的每一次进步扼杀在萌芽状态, 冲垮科技能力,从外部加剧我们生产与科研的脱节,迫使我们不得不深深依赖他们。…… 我们的产业环境又多多少少带有计划色彩,不能很快与国际接轨,其中特别是对微电子 产业发展有重大影响的企业制度、资本市场、税收政策、科研体制等,又不适应市场经 济要求,使得我们在国际竞争中缺乏活力”。[1] 20世纪90年代,我国半导体产业的增长速度达到30%以上,但其规模仅占世界半导体 子产业的1%,仅能满足大陆半导体市场的不足10%。即使“十五”期间各地计划的项目都能 如期实施,到2005年,我国半导体产业在世界上的份额,顶多占到2%~3%。自己的设计 和制造水平和国际先进水平的差距很大,企业规模小、重复分散、缺乏竞争力,基本上 是跨国公司全球竞争战略的附庸,自己的产业体系还没有成形。 我国半导体产业如此落后的现状,使得我国的经济、科技、国防现代化的基础“建筑 在沙滩上”。在世界微电子技术迅猛发展的情况下,我国如不努力追赶,就会在国际竞争 中越来越被动,对我国未来信息产业的升级和市场份额的分配,乃至对整个经济发展, 都可能造成十分不利的影响。形势逼迫我国必须加快这一产业的发展。“十五”计划中, 加快半导体产业的发展被放在重要地位,这是具有重大意义的。 发展中国家要追赶国际高科技产业的步伐,一般都会面临技术、资金、管理、市场的 障碍。高科技的产业化是一个大规模的系统工程,需要科研和产业的紧密结合,以及各 部门的有效协调,而这些都不是单个企业所能跨越得过去的。在市场机制尚未成熟到有 效调动资源的情况下,高层次的组织协调和扶持是必需的。构建具有较高透明度的政策 环境和市场环境。有助于鼓励高科技民营企业进入电路设计业领域,鼓励生产企业走规 模化和面向国内市场自主开发的路子,形成产业群体。 要打破部门界限,整合全国力量,在引进消化吸收的基础上,加快自主创新,掌握自 主知识产权,走出一条创新之路。要重视子人才培养,稳定人才队伍,吸引国外优秀微 电子人才。 在半导体产业发展的目标和途径,以及市场定位、技术路线等方面,需要有战略性的 决策和通盘的政策考虑。政府坚定明确的发展政策,合理的投资融资方式,灵活高效的 企业经营方式和能够鼓励企业和个人的积极性创造性的激励机制,是产业得以成长的必 要条件。 半导体:信息时代的制高点产业 电子信息技术是当代新一轮科技革命的核心,是当今“全球化”和“知识经济”的最重要 物质技术基础。微电子技术又是电子信息技术的核心和基础。我们今天处在一个真正的 技术革命时代,而微电子技术的突飞猛进是这个革命的最基础的组成部分。 微电子技术是在半导体材料上采用微米级线度加工处理的技术。其主体产品集成电路 (也就是半导体器件的主体),构成电子产品的核心硬件。20年前,托夫勒的《第三次浪 潮》预测信息技术革命将深刻改变人类生活,在许多中国人的心目中这还是一个可望不可 及的梦想,但今天梦已经成为现实。正是微电子技术的巨大进步和大规模应用,把人类 带进了信息时代。 半导体是信息时代的基础产业 正如钢铁、机械、电力是大工业时代的基础工业,半导体工业可说是是信息经济时代 的基础工业。 首先,半导体是电子信息整机产品中占据核心地位的部件。当今从世界范围看,GDP 每增长100- 300元,需要10元左右电子工业产值和1元集成电路产值的支持。2000年,全球电子信息 产业贸易总额约1~1.4万亿美元,2005年将达到2.6万亿美元,成为全球第一大产业。所 以美国半导体工业协会称“美国半导体工业是美国经济的倍增器”,韩国称其为“工业粮食 ”。 据有关资料测算,如以单位质量钢筋对GDP的贡献为1计算,小汽车为5,彩电为30,计算 机为1000,集成电路为2000。 半导体的巨大价值还表现在“用高新技术改造传统产业”上。例如,仅对我们全国各行 业的风机、水泵(总耗电量占全国发电量的36%)采用变频技术进行改造,每年的节电量 等于3个葛洲坝电站的发电量,对全国白炽灯的1/18进行节能改造,所节省的电能,相当 于3座大亚湾核电站的发电量。所以有人提出,以半导体产值占GDP的0.5%作为进入信息 化社会的一个指标。 近20 年来,全球电子信息产业迅猛扩张。半导体世界市场容量每5年翻一番。1999年世界半导 体的销售额1570亿美元,2000年已达到1950亿美元。[2] 如此推算,预计2012年,世界半导体产值1万亿美元,支持6- 8万亿美元的电子设备产值,30万亿信息服务业产值(大约等于1997年全世界GDP总值) 。 半导体对国家安全的战略意义 半导体制造技术在美国起步时,首先是用于军事目的。20世纪60年代中期,美国投入大 量人力物力,搞了民兵导弹、阿波罗导航计算机以及W2F飞机数据处理器三大工程,将集 成电路的可靠性提高了100倍,也促进了器件基础(设计、工艺、测试评价、组织管理) 的完善,半导体产业由此跨入大规模生产的门槛。从海湾战争到科索沃战争,所谓“现代 高科技战争”的概念,首先就是信息战、电子战。国家间军事实力的对比,在很大程度上 是系统能力和芯片实力的较量。当今先进国家中,军舰、战车、飞机、导弹和航天器中 集成电路的成本,已分别占总成本的22%,24%,33%,45%,66%。 所以,对于象我们这样的的大国、掌握微电子核心技术就不仅仅是一个经济问题,不 是可有可无,而是维护国家安全所必需。通用电路即使可以靠国际购买,也难以保证安 全,专用电路更只能依靠自己的力量,否则将被别人卡住脖子,没有任何安全感。关键 芯片和软件技术上的过分落后,战时就会变成聋子瞎子。奔腾Ⅲ微处理器被安装了“后门 ”,无密可保,连INTEL自己都承认了,这是众所周知的一个例子。 所以,掌握微电子先进技术,关系到综合国力的提高,关系到国民经济的整体效益和 国家安全。没有自己的半导体产业体系,也不能说掌握了自己的电子信息产业的命脉。 正因为如此,世界各国(包括许多发展中国家和地区)对其高度重视,纷纷制定面向21 世纪的集成电路中长期发展计划,以期争夺未来世界竞争的主动权。 全球化的产业和垂直国际分工 当代半导体产业呈现典型的全球性垂直分工性质。 美国是当今世界微电子技术进步的先驱,以其经济、科技实力和高强度创新机制,稳 居全球领导地位,处于半导体产业链条的顶端。1987- 96年,美国半导体工业年增长率15.7%,3倍于国民经济的增长速度;该国GDP增长部分的 65%以上与微电子技术有关。在微电子技术日新月异的进展中,美、日、欧洲等发达国家 垄断技术的局面,韩国、新加坡和我国台湾半导体制造业在世界上也占有举足轻重的份 额。 1990年代以来,我国台湾省半导体工业的年增长率达到30%,6倍于GDP增长率(5.6 %)。其总产值已占其GDP的5%,成为名副其实的支柱产业。其信息产业规模在1996年即 已达世界第三位。 相比之下,我国大陆近年来半导体集成电路工业占世界份额不到1%,只能满足国内15%左 右的需求;处于国际产业链条的低端,这是我国微电子技术长期落后的集中反映。这种 状态是不能令国人满意的。 国际经济竞争的战略制高点 由于其重要战略地位,半导体产业从来就是发达国家竞相争夺的战略制高点。 延续10年之久的美日半导体贸易战就是著名的案例。日本的半导体产业比美国晚了将 近10年。1970年代,日本政府认定半导体产业的重要战略价值,制定了产业发展政策, 组织官产学研协同搞技术攻关,及时抢占了新一代关键设备这个制高点,瞄准工业控制 和消费类电子这两个市场空档,在国际市场奠定了可与美国比肩的半导体强国地位。 到1980年代末,日本的半导体国际市场份额一度超过了美国,以致1990年的海湾战争 ,美国导弹中的很多核心芯片,都不得不依赖日本货,这使美国人感到,日本半导体芯 片已威胁到美国的产业利益和国家安全。在这种情况下,一贯标榜奉行“自由贸易”、“自 由竞争”原则的美国,毫不犹豫地拿起贸易壁垒和产业政策这两个武器,抵制日货,制定 产业发展战略,用市场保护、税收信贷优惠、政府资助组织企业研发等典型的“通产省” 式手段,大力扶持本国半导体产业。经过大约10年的贸易战,终以美国夺回主动权告终 (当然,美国的“通产省”政策只是美国半导体重新称雄的原因之一,硅谷机制是日本所 缺乏的)。这充分说明即使是在自由度很大的市场经济下,国家的必要干预,对产业发 展也起着不可忽视的作用。 可以说,半导体产业和技术的飞速发展,在很大程度上带有国家间竞争的背景,也是 发达国家对其他后进国家保持技术优势的重要筹码。直到今天,美国可以将部分通用电 路的制造技术转移海外,但始终努力保持CPU等尖端芯片的技术优势。 半导体产业的技术经济特点 半导体的市场竞争性既源于芯片在信息产业中的核心与基础地位,又跟微电子的技术 创新特点和高竞争性有关。微电子技术的不断创新,导致电子系统升级所带来的巨大经 济效益,引发了同行在人才与资金上的剧烈竞争,并因此推动了产业的国际化。 一日千里的微电子技术 目前广泛应用的数字集成电路,是将大量逻辑电路蚀刻在半导体芯片上,电流通过“ 门电路”时以高、低电位实现逻辑运算。 微电子有两个著名定律,即“器件按比例缩小定律”和“摩尔定律”。 “器件按比例缩小原理”。MOS器件的横向纵向尺寸(沟道长、宽度等横向尺寸和栅层 厚度、结深等纵向尺寸)按一定比例K(K- 1.4)缩小,单位面积上的功耗可保持不变;这时器件所占的面积(因而成本)可随之缩 小K2倍,器件性能可提高K3倍。所以器件越小,同样面积芯片可集成更多、更好的器件 ,还降低了器件相对成本。这是摩尔定律的物理基础,也正是这种物理特性,刺激了加 速的技术创新。 摩尔定律指出,芯片集成度每18- 24个月增长一倍,价格不变,或者说器件尺寸每三年缩小K倍,技术整体更新一代。现在 这个规律已经成为全球半导体技术发展指南(roadmap),“这种把技术指标极其到达是 限准确地摆在竞争者面前的规律,就为企业发展提出了一个‘永难喘息’,否则就‘永远停 息’的竞争法则”。[3] 最近30年来,集成电路制造技术经历了10代。1970年,存储器容量只有1K,线宽10微 米。现容量为1G、线宽0.18微米存储器将投入批量生产(2001年)。 1991年,日立公司宣布64M DRAM,在10×20平方毫米的芯片面积上,集成1.4亿只晶体管,集成密度达到70万管/平方 毫米,1.5伏电压,功耗44毫瓦,寻址时间50纳秒。 目前主流加工技术是8英寸硅片,0.25微米线宽。12英寸硅片0.18微米已经批量生产 。据国际权威机构预测,到2014年,半导体芯片加工技术将达到18英寸硅片、0.035微米 特征尺寸(线宽)。当集成电路线宽达到0.1微米及以下,标志着半导体制造技术及器件 、工艺理论随之全面进入纳米领域。硅基芯片的微细加工技术将可能到达极限。届时, 微电子的基础理论、材料技术和加工技术都可能发生革命性的变化。 我国专家预测,21世纪微电子技术的具体发展趋势主要以下三个方面: · 集成电路的特征尺寸将继续缩小,与硅CMOS相关的器件物理、电路结构和材料体系将不 断创新,但由于长期的科研投入,其产业能力和知识积累决...
五、半导体
五、半导体篇 ——我国半导体产业的现状和发展前景 电子信息产业已成为当今全球规模最大、发展最迅猛的产业,微电子技术是其中的核 心技术之一(另一个是软件技术)。现代电子信息技术,尤其是计算机和通讯技术发展 的驱动力,来自于半导体元器件的技术突破,每一代更高性能的集成电路的问世,都会 驱动各个信息技术向前跃进,其战略地位与近代工业化时代钢铁工业的地位不相上下。 当前,世界半导体产业仍由美国占据绝对优势地位,日本欧洲紧随其后,韩国和我国 台湾地区也在迅速发展。台湾地区半导体工业已成为世界最大的集成电路代工中心,逐 步形成自己的产业体系。 我国的微电子科技和产业起步在50年代,仅比美国晚几年。计划经济时期,由于体制 的缺陷和其间10年“文革”,拉大了和国际水平的差距。进入80年代,我国面对国内外微 电子技术的巨大反差和国外对我技术封锁,我们没有能够在体制和政策上及时拿出有效 应对措施。国有企业无法适应电子技术的快节奏进步,国家协调组织能力下降,科研体 制改革缓慢,以致1980~1990年代我国自主发展半导体产业的努力未获显著效果。 “市场‘开放’后,集成电路商品从合法、不合法渠道源源涌入,集成电路所服务的终端产 品,以整机或部件散装的形式,也大量流入,但人家确实考虑到微电子的战略核心性质 ,死死卡住生产集成电路的先进设备,不让进口,在迫使我们落后一截,缺乏竞争力的 同时,又时刻瞄准我们科研与生产升级的潜力,把我们的每一次进步扼杀在萌芽状态, 冲垮科技能力,从外部加剧我们生产与科研的脱节,迫使我们不得不深深依赖他们。…… 我们的产业环境又多多少少带有计划色彩,不能很快与国际接轨,其中特别是对微电子 产业发展有重大影响的企业制度、资本市场、税收政策、科研体制等,又不适应市场经 济要求,使得我们在国际竞争中缺乏活力”。[1] 20世纪90年代,我国半导体产业的增长速度达到30%以上,但其规模仅占世界半导体 子产业的1%,仅能满足大陆半导体市场的不足10%。即使“十五”期间各地计划的项目都能 如期实施,到2005年,我国半导体产业在世界上的份额,顶多占到2%~3%。自己的设计 和制造水平和国际先进水平的差距很大,企业规模小、重复分散、缺乏竞争力,基本上 是跨国公司全球竞争战略的附庸,自己的产业体系还没有成形。 我国半导体产业如此落后的现状,使得我国的经济、科技、国防现代化的基础“建筑 在沙滩上”。在世界微电子技术迅猛发展的情况下,我国如不努力追赶,就会在国际竞争 中越来越被动,对我国未来信息产业的升级和市场份额的分配,乃至对整个经济发展, 都可能造成十分不利的影响。形势逼迫我国必须加快这一产业的发展。“十五”计划中, 加快半导体产业的发展被放在重要地位,这是具有重大意义的。 发展中国家要追赶国际高科技产业的步伐,一般都会面临技术、资金、管理、市场的 障碍。高科技的产业化是一个大规模的系统工程,需要科研和产业的紧密结合,以及各 部门的有效协调,而这些都不是单个企业所能跨越得过去的。在市场机制尚未成熟到有 效调动资源的情况下,高层次的组织协调和扶持是必需的。构建具有较高透明度的政策 环境和市场环境。有助于鼓励高科技民营企业进入电路设计业领域,鼓励生产企业走规 模化和面向国内市场自主开发的路子,形成产业群体。 要打破部门界限,整合全国力量,在引进消化吸收的基础上,加快自主创新,掌握自 主知识产权,走出一条创新之路。要重视子人才培养,稳定人才队伍,吸引国外优秀微 电子人才。 在半导体产业发展的目标和途径,以及市场定位、技术路线等方面,需要有战略性的 决策和通盘的政策考虑。政府坚定明确的发展政策,合理的投资融资方式,灵活高效的 企业经营方式和能够鼓励企业和个人的积极性创造性的激励机制,是产业得以成长的必 要条件。 半导体:信息时代的制高点产业 电子信息技术是当代新一轮科技革命的核心,是当今“全球化”和“知识经济”的最重要 物质技术基础。微电子技术又是电子信息技术的核心和基础。我们今天处在一个真正的 技术革命时代,而微电子技术的突飞猛进是这个革命的最基础的组成部分。 微电子技术是在半导体材料上采用微米级线度加工处理的技术。其主体产品集成电路 (也就是半导体器件的主体),构成电子产品的核心硬件。20年前,托夫勒的《第三次浪 潮》预测信息技术革命将深刻改变人类生活,在许多中国人的心目中这还是一个可望不可 及的梦想,但今天梦已经成为现实。正是微电子技术的巨大进步和大规模应用,把人类 带进了信息时代。 半导体是信息时代的基础产业 正如钢铁、机械、电力是大工业时代的基础工业,半导体工业可说是是信息经济时代 的基础工业。 首先,半导体是电子信息整机产品中占据核心地位的部件。当今从世界范围看,GDP 每增长100- 300元,需要10元左右电子工业产值和1元集成电路产值的支持。2000年,全球电子信息 产业贸易总额约1~1.4万亿美元,2005年将达到2.6万亿美元,成为全球第一大产业。所 以美国半导体工业协会称“美国半导体工业是美国经济的倍增器”,韩国称其为“工业粮食 ”。 据有关资料测算,如以单位质量钢筋对GDP的贡献为1计算,小汽车为5,彩电为30,计算 机为1000,集成电路为2000。 半导体的巨大价值还表现在“用高新技术改造传统产业”上。例如,仅对我们全国各行 业的风机、水泵(总耗电量占全国发电量的36%)采用变频技术进行改造,每年的节电量 等于3个葛洲坝电站的发电量,对全国白炽灯的1/18进行节能改造,所节省的电能,相当 于3座大亚湾核电站的发电量。所以有人提出,以半导体产值占GDP的0.5%作为进入信息 化社会的一个指标。 近20 年来,全球电子信息产业迅猛扩张。半导体世界市场容量每5年翻一番。1999年世界半导 体的销售额1570亿美元,2000年已达到1950亿美元。[2] 如此推算,预计2012年,世界半导体产值1万亿美元,支持6- 8万亿美元的电子设备产值,30万亿信息服务业产值(大约等于1997年全世界GDP总值) 。 半导体对国家安全的战略意义 半导体制造技术在美国起步时,首先是用于军事目的。20世纪60年代中期,美国投入大 量人力物力,搞了民兵导弹、阿波罗导航计算机以及W2F飞机数据处理器三大工程,将集 成电路的可靠性提高了100倍,也促进了器件基础(设计、工艺、测试评价、组织管理) 的完善,半导体产业由此跨入大规模生产的门槛。从海湾战争到科索沃战争,所谓“现代 高科技战争”的概念,首先就是信息战、电子战。国家间军事实力的对比,在很大程度上 是系统能力和芯片实力的较量。当今先进国家中,军舰、战车、飞机、导弹和航天器中 集成电路的成本,已分别占总成本的22%,24%,33%,45%,66%。 所以,对于象我们这样的的大国、掌握微电子核心技术就不仅仅是一个经济问题,不 是可有可无,而是维护国家安全所必需。通用电路即使可以靠国际购买,也难以保证安 全,专用电路更只能依靠自己的力量,否则将被别人卡住脖子,没有任何安全感。关键 芯片和软件技术上的过分落后,战时就会变成聋子瞎子。奔腾Ⅲ微处理器被安装了“后门 ”,无密可保,连INTEL自己都承认了,这是众所周知的一个例子。 所以,掌握微电子先进技术,关系到综合国力的提高,关系到国民经济的整体效益和 国家安全。没有自己的半导体产业体系,也不能说掌握了自己的电子信息产业的命脉。 正因为如此,世界各国(包括许多发展中国家和地区)对其高度重视,纷纷制定面向21 世纪的集成电路中长期发展计划,以期争夺未来世界竞争的主动权。 全球化的产业和垂直国际分工 当代半导体产业呈现典型的全球性垂直分工性质。 美国是当今世界微电子技术进步的先驱,以其经济、科技实力和高强度创新机制,稳 居全球领导地位,处于半导体产业链条的顶端。1987- 96年,美国半导体工业年增长率15.7%,3倍于国民经济的增长速度;该国GDP增长部分的 65%以上与微电子技术有关。在微电子技术日新月异的进展中,美、日、欧洲等发达国家 垄断技术的局面,韩国、新加坡和我国台湾半导体制造业在世界上也占有举足轻重的份 额。 1990年代以来,我国台湾省半导体工业的年增长率达到30%,6倍于GDP增长率(5.6 %)。其总产值已占其GDP的5%,成为名副其实的支柱产业。其信息产业规模在1996年即 已达世界第三位。 相比之下,我国大陆近年来半导体集成电路工业占世界份额不到1%,只能满足国内15%左 右的需求;处于国际产业链条的低端,这是我国微电子技术长期落后的集中反映。这种 状态是不能令国人满意的。 国际经济竞争的战略制高点 由于其重要战略地位,半导体产业从来就是发达国家竞相争夺的战略制高点。 延续10年之久的美日半导体贸易战就是著名的案例。日本的半导体产业比美国晚了将 近10年。1970年代,日本政府认定半导体产业的重要战略价值,制定了产业发展政策, 组织官产学研协同搞技术攻关,及时抢占了新一代关键设备这个制高点,瞄准工业控制 和消费类电子这两个市场空档,在国际市场奠定了可与美国比肩的半导体强国地位。 到1980年代末,日本的半导体国际市场份额一度超过了美国,以致1990年的海湾战争 ,美国导弹中的很多核心芯片,都不得不依赖日本货,这使美国人感到,日本半导体芯 片已威胁到美国的产业利益和国家安全。在这种情况下,一贯标榜奉行“自由贸易”、“自 由竞争”原则的美国,毫不犹豫地拿起贸易壁垒和产业政策这两个武器,抵制日货,制定 产业发展战略,用市场保护、税收信贷优惠、政府资助组织企业研发等典型的“通产省” 式手段,大力扶持本国半导体产业。经过大约10年的贸易战,终以美国夺回主动权告终 (当然,美国的“通产省”政策只是美国半导体重新称雄的原因之一,硅谷机制是日本所 缺乏的)。这充分说明即使是在自由度很大的市场经济下,国家的必要干预,对产业发 展也起着不可忽视的作用。 可以说,半导体产业和技术的飞速发展,在很大程度上带有国家间竞争的背景,也是 发达国家对其他后进国家保持技术优势的重要筹码。直到今天,美国可以将部分通用电 路的制造技术转移海外,但始终努力保持CPU等尖端芯片的技术优势。 半导体产业的技术经济特点 半导体的市场竞争性既源于芯片在信息产业中的核心与基础地位,又跟微电子的技术 创新特点和高竞争性有关。微电子技术的不断创新,导致电子系统升级所带来的巨大经 济效益,引发了同行在人才与资金上的剧烈竞争,并因此推动了产业的国际化。 一日千里的微电子技术 目前广泛应用的数字集成电路,是将大量逻辑电路蚀刻在半导体芯片上,电流通过“ 门电路”时以高、低电位实现逻辑运算。 微电子有两个著名定律,即“器件按比例缩小定律”和“摩尔定律”。 “器件按比例缩小原理”。MOS器件的横向纵向尺寸(沟道长、宽度等横向尺寸和栅层 厚度、结深等纵向尺寸)按一定比例K(K- 1.4)缩小,单位面积上的功耗可保持不变;这时器件所占的面积(因而成本)可随之缩 小K2倍,器件性能可提高K3倍。所以器件越小,同样面积芯片可集成更多、更好的器件 ,还降低了器件相对成本。这是摩尔定律的物理基础,也正是这种物理特性,刺激了加 速的技术创新。 摩尔定律指出,芯片集成度每18- 24个月增长一倍,价格不变,或者说器件尺寸每三年缩小K倍,技术整体更新一代。现在 这个规律已经成为全球半导体技术发展指南(roadmap),“这种把技术指标极其到达是 限准确地摆在竞争者面前的规律,就为企业发展提出了一个‘永难喘息’,否则就‘永远停 息’的竞争法则”。[3] 最近30年来,集成电路制造技术经历了10代。1970年,存储器容量只有1K,线宽10微 米。现容量为1G、线宽0.18微米存储器将投入批量生产(2001年)。 1991年,日立公司宣布64M DRAM,在10×20平方毫米的芯片面积上,集成1.4亿只晶体管,集成密度达到70万管/平方 毫米,1.5伏电压,功耗44毫瓦,寻址时间50纳秒。 目前主流加工技术是8英寸硅片,0.25微米线宽。12英寸硅片0.18微米已经批量生产 。据国际权威机构预测,到2014年,半导体芯片加工技术将达到18英寸硅片、0.035微米 特征尺寸(线宽)。当集成电路线宽达到0.1微米及以下,标志着半导体制造技术及器件 、工艺理论随之全面进入纳米领域。硅基芯片的微细加工技术将可能到达极限。届时, 微电子的基础理论、材料技术和加工技术都可能发生革命性的变化。 我国专家预测,21世纪微电子技术的具体发展趋势主要以下三个方面: · 集成电路的特征尺寸将继续缩小,与硅CMOS相关的器件物理、电路结构和材料体系将不 断创新,但由于长期的科研投入,其产业能力和知识积累决...
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